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Die Micronicfab® ist ein automatisierter Verbund modularer Schutzkammern für die Produktion von Mikrostrukturen.
Der hier dargestellte Linearprovider hat gegenüber der klassischen polaren Cluster Tool Platform entscheidende Vorteile. So bietet er 40 % Platzersparnis bei 30% schnellerer Durchlaufzeit! Das System besteht aus einem oder mehreren Linearrobotern, welche unter Hochvakkum-Bedingungen in einem Tunnel verfahrbar sind. An den Tunnel werden Bearbeitungsstationen in linearer Anordnung angedockt. Dank des aus wenigen Grundelementen bestehenden Baukastensystems ist die Micronicfab® sehr flexibel skalierbar. Bei höchster Qualität, Zuverlässigkeit und Präzision ermöglicht die geringe Zahl von Komponenten wesentlich einfachere und kostengünstigere Systeme als bei polar konfigurierten Clustern. Sie ermöglicht das Handling von sowohl runden als auch eckigen Substraten. Im Halbleiterbereich können z.B. Wafergrössen bis 450 mm gehandelt werden.
Der hier dargestellte Linearprovider hat gegenüber der klassischen polaren Cluster Tool Platform entscheidende Vorteile. So bietet er 40 % Platzersparnis bei 30% schnellerer Durchlaufzeit! Das System besteht aus einem oder mehreren Linearrobotern, welche unter Hochvakkum-Bedingungen in einem Tunnel verfahrbar sind. An den Tunnel werden Bearbeitungsstationen in linearer Anordnung angedockt. Dank des aus wenigen Grundelementen bestehenden Baukastensystems ist die Micronicfab® sehr flexibel skalierbar. Bei höchster Qualität, Zuverlässigkeit und Präzision ermöglicht die geringe Zahl von Komponenten wesentlich einfachere und kostengünstigere Systeme als bei polar konfigurierten Clustern. Sie ermöglicht das Handling von sowohl runden als auch eckigen Substraten. Im Halbleiterbereich können z.B. Wafergrössen bis 450 mm gehandelt werden.
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