Der Vario Roboter ist die konsequente Weiterentwicklung unseres tausendfach bewährten SCARA-Roboters. Genau wie der SCARA verfügt der Vario Roboter über ein Antriebskonzept welches ohne Motoren direkt im Arm auskommt und damit unter anderem sicherstellt, dass kein Wärmeeintrag durch die Motoren in die mögliche Arbeitsumgebung des Arms erfolgt.

Mechanische Merkmale:

• partikelarmes Design und Fertigung
• keine Vibrationen
• angepasst auf höchste Reinheitsanforderungen
• Antriebssystem besticht vor allem durch hohe Dynamik bei gleichzeitig optimaler Präzision.

Steuerungstechnik:

• mit ASYS Robotersteuerung optimal auf die Bewegungen bei hoher Geschwindigkeit mit idealen Bewegungsbahnen abgestimmt
• erhöhter Durchsatz bei verringertem Verschleiß
• Kommunikation zu allen Marktüblichen SPS Betriebs- und Bussystem realisierbar

In der Vakuumversion verfügt der Vario Roboter über die gleichen hervorragenden Eigenschaften wie in der atmosphärischen Version und erzielt Betriebseigenschaften die einen Einsatz bis ins Ultrahochvakuum ermöglichen. Mit den Vario-Robotern der neuesten Generation sind unsere Kunden in der Lage alle Herausforderungen im Hinblick auf Reinheit, Dynamik, Präzision, Vakuumtechnik und Steuerungsintegration ihrer Anlagen zu übertreffen.

Der ASYS Jumbo-Roboter ist weltweit einer der größten und stärksten Roboter im Bereich des Handlings von Halbleiterprodukten. Dieser Roboter überzeugt nicht nur durch seine erhebliche Tragfähigkeit, Reichweite und Präzision sondern, trotz seiner Größe, auch durch seine hervorragenden Werte in der Dynamik.

Merkmale:

• höchste Reinheitsanforderungen
• nachweislich keinerlei Kohlenwasserstoffemission
• keine Vibrationen
• Montage und Tests der Roboter werden in Reinräumen nach ISO Klasse 5 durchgeführt.
• Antriebssystem besticht vor allem durch hohe Dynamik bei gleichzeitig optimaler Präzision.

Steuerungstechnik:

• mit ASYS Robotersteuerung optimal auf die Bewegungen bei hoher Geschwindigkeit mit idealen Bewegungsbahnen abgestimmt
• erhöhter Durchsatz bei verringertem Verschleiß
• Kommunikation zu allen marktüblichen SPS Betriebs- und Bussystem realisierbar
• Optional können Kunden eigene Steuerung für den Betrieb des Roboters verwenden

Selbstverständlich ist der Jumbo-Roboter in atmosphärischer oder alternativ auch in einer Vakuum-Ausführung lieferbar. Beide Varianten verfügen über gleiche Traglasten, dynamisches Verhalten und Präzisionswerte. Im Vakuum kann der Roboter bis hin zum Ultrahochvakuum ohne Einschränkungen eingesetzt werden. Auch hier ist eine kohlenwasserstofffreie Ausführung garantiert. Unsere Kunden erhalten einen Roboter aus dem Hause ASYS mit dem Qualitätssiegel Made in Germany, welches keine Wünsche im absoluten Highend Handling mehr offen lässt, egal ob der Roboter im Halbleiter-, Solar- oder Life-Science-Bereich eingesetzt wird.

Die neuste Roboter Entwicklung im Hause ASYS ist der Paraliner. Dieser Roboter bietet dank seiner linearen Führung des Substrathalters den Vorteil von extrem hoher Genauigkeit beim Geradeauslauf in radialer Richtung. Angetrieben werden die Führungswagen auf den Linearschienen durch Hebel welche nach dem SCARA-Prinzip arbeiten.

Merkmale:

• Die Antriebsmotoren befinden sich, wie bei allen ASYS Robotern, außerhalb des Handlingarbeitsraums um den Wärmeeintrag auf das Substrat zu minimieren.
• Einem Grundprinzip der ASYS folgend, werden auch beim Paraliner im Handlingsbereich keine Substrate (Solarzellen, Touchscreens, IC Baugruppen usw.) übereinander bewegt, um ein Verunreinigen von übereinander bewegten Bauteilen zu vermeiden
• Zwei Substrathalter können auf einer Ebene bewegt werden
• Die Reichweite des Roboters übersteigt die Anforderung der SEMI Norm für 450mm Wafer.
• Das Gewicht der Substrate spielt keine Rolle da hier der Paraliner aufgrund seiner Konstruktion mit den tragenden Linearschienen ohne weiteres auch schwere Bauteile transportieren kann.
• Montage und Tests der Roboter werden in Reinräumen nach ISO Klasse 5 durchgeführt.

Steuerungstechnik:

• mit ASYS Robotersteuerung optimal auf die Bewegungen bei hoher Geschwindigkeit mit idealen Bewegungsbahnen abgestimmt
• erhöhter Durchsatz bei verringertem Verschleiß
• Kommunikation zu allen marktüblichen SPS Betriebs- und Bussystem realisierbar

Der Paraliner ist sowohl in atmosphärischer Ausführung als auch in der Vakuumversion erhältlich. Gerade im Vakuumbereich bietet der Paraliner in Kombination mit unseren polaren Vakuumkammern ein überragendes Ergebnis im Hinblick auf Reinheit und Betriebssicherheit.

Der SCARA-Roboter bietet durch seine mittlerweile über 15jährige Erfahrung ein sehr hohes Maß an Zuverlässigkeit und Lebensdauer. Dennoch ist der Scara Roboter durch die konsequente Weiterentwicklung immer noch auf der Höhe der Zeit.

Merkmale:

• über 4000 installierte Roboter weltweit
• kontinuierliche Weiterentwicklung
• SCARA-Updates von ASYS sind immer abwärtskompatibel: Somit profitieren nicht nur Neukunden vom umfangreichen Know-How der Roboter, sondern auch Kunden welche ältere Anlagen mit ASYS Robotern betreiben.
• das Grundantriebselement für den Arm kann an unterschiedliche vertikale Z-Achsen montiert werden, so dass ein großer Arbeitsraum ermöglicht werden kann
• alternative Armlängen eröffnen weitere Einsatzfelder für den Kunden.

Steuerungstechnik:

• mit ASYS Robotersteuerung optimal auf die Bewegungen bei hoher Geschwindigkeit mit idealen Bewegungsbahnen abgestimmt
• erhöhter Durchsatz bei verringertem Verschleiß
• Kommunikation zu allen marktüblichen SPS Betriebs- und Bussystem realisierbar
• optional können Kunden eigene Steuerung für den Betrieb des Roboters verwenden

Die Ausrichtung der Konstruktion auf ein bewährtes Baukastenprinzip ermöglicht es den Roboter für verschiedenste Anwendungen zu konfigurieren. Schon von Anfang an wurde der Scara-Roboter auf die Ausführung als atmosphärischer oder alternativ als Vakuum-Roboter konzipiert. Dieser Weitblick auf die möglichen Einsatzwecke erlaubt es ASYS den Roboter immer wieder auf neue Kundenanforderungen anzupassen. So ist der Scara Roboter in Kombination mit einer vertikalen Achse auch für Reinräume nach ISO 3 Zertifiziert. Durch das hohe Maß an Zuverlässigkeit und die Kombinationsmöglichkeit ist der Scara-Roboter innerhalb der ASYS Roboterfamilie der am häufigsten eingesetzte Roboter weltweit.