Die Kernkompetenz von ASYS ist das Handling von Substraten in besonderen und isolierten Umgebungsbedingungen – wie z.B. im Hochvakuum oder in Atmosphären höchster Reinheit. Zu diesem Zweck entwickeln und vertreiben wir Roboter und Einzelkomponenten, sowie auch komplette Handlingsysteme – die ASYS-Micronicfabs.
Unsere größte Stärke ist unsere Flexibilität
Wir liefern unseren Kunden individuell auf sie zugeschnittene Engineering-Lösungen, ohne jedoch ein Sondermaschinenbauer zu sein. Dies ist möglich, da alle unsere Produkte auf einem frei kombinierbaren, offenen Baukastensystem basieren. Das bedeutet, dass jede Handlingslösung speziell für jeden Kunden optimal konfiguriert werden kann. Dank des Baukastens sind somit individuelle Lösungen möglich, die mit geringem Entwicklungsaufwand realisiert werden können. Der offene Baukasten erlaubt es auch, dass sämtliche Komponenten auf die individuellen Anforderungen des Kunden angepasst werden können. Er wird ständig erweitert, gepflegt und ergänzt.
Handling im Ultra-Hochvakuum
Anwendungsbeispiel im Ultra-Hochvakuum
ASYS verfügt über eine langjährige Erfahrung im Umgang mit UHV. Die Standardkomponenten der Hochvakuumroboter werden durch Oberflächenveredelung, angepasste Schmierstoffe, dem Ersatz von temperaturempfindlichen Materialien und konsequenter Vermeidung virtueller Lecks zu UHV-tauglichen Robotern.
Diese werden schon vor der Montage so weit wie möglich von Wasser und anderen Belägen auf der Oberfläche befreit und in einer Stickstoffatmosphäre belüftet. Sämtliche dichtungsrelevanten Teile werden mehrstufig mit Helium auf Undichtigkeiten geprüft und verschiedene Dichtungsvarianten reduzieren die Leckrate, auch für He, auf niedrige Werte. Ausheiztemperaturen bis 120°C sind Standard.
Eine der Vorreinigung entsprechende Endreinigung ermöglicht in der Kombination mit einer Metallverpackung die schnelle Inbetriebnahme und damit geringe Verunreinigung des bestehenden Systems.
Handling unter hochreinen Umgebungsbedingungen
Jumbo in EUV-Anlagen
ASYS ist einer der Pioniere im Ultra Clean Handling. Im Rahmen der Konzeption der EUV Lithografie wurden ASYS Roboter für fettfreie Umgebungen entwickelt.
Diese Roboter emittieren keine nachweisbaren VOC (volatile organic compounds). Gleichzeitig wird eine sehr geringe Partikelemission erreicht.
Neben VOC-sensitiven Umgebungen sind diese Roboter auch für extrem partikelarme Umgebungen geeignet.
